下载光斑改善型垂直腔面发射激光器及其制作方法的技术资料

文档序号:31089152

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本申请提供一种光斑改善型垂直腔面发射激光器,包括衬底,衬底包括第一区域和位于第一区域周围的第二区域,第二区域的平坦程度小于第一区域。在衬底正面依次形成有N型DBR层、发光层和P型DBR层,P型DBR层中形成有环状的氧化层,第二区域构成的环状...
该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。

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