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本发明公开了一种基于电容感测的直线位移测量装置及方法，利用电容感测原理，上、下各放一个金属薄片，间隔固定的距离。下面的薄片固定不动，当上层金属薄片移动时，上、下两个金属薄片的重合面积将会发生变化，会导致金属薄片上的寄生电容发生改变。用高精度...
该专利属于西京学院所有，仅供学习研究参考，未经过西京学院授权不得商用。

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