下载混合振膜结构宽频带电容式微机械超声换能器设计方法的技术资料

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本发明涉及超声成像、医学诊断、无损检测、液体流量测量、故障定位、生化气体探测等领域的超声换能器,具体为一种混合振膜结构宽频带电容式微机械超声换能器设计方法。一种混合振膜结构宽频带电容式微机械超声换能器设计方法,包括集成在一个芯片上且排成N<...
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