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提供能够更为高精度且高效地对被检查物的表面、被检查物的形状的特征进行检查的拍摄装置。拍摄装置具备第1光学系统、多个偏振片、多个固体拍摄元件和信号处理部。第1光学系统具备多个棱镜和多个光学过滤器。多个棱镜中的第1棱镜、第2棱镜和第3棱镜以该顺...
该专利属于日本株式会社皆爱公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本株式会社皆爱公司授权不得商用。

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