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真空压膜系统及真空压膜方法技术方案
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文档序号:31078971
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本发明提供一种真空压膜系统及方法,真空压膜系统包括供膜组件、收膜组件、下压膜机体、上压膜机体、抽气机、移动组件及切割组件。下压膜机体包括第一壳座以及可上下移动地配置于第一壳座内的下加热组件。下加热组件适于承载基板并移动,而使基板与第一壳座的...
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