下载一种内置高效洁净棚的镀膜用无尘车间的技术资料

文档序号:31070932

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本实用新型公开一种内置高效洁净棚的镀膜用无尘车间,先建造无尘车间以形成第一无尘空间,然后在第一无尘空间内再建造洁净棚形成第二无尘空间,其中,第一无尘空间的无尘等级在1000级,而第二无尘空间通过风机和FFU过滤器将灰尘进一步滤除之后,无尘等...
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