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本实用新型涉及离子源技术领域，且公开了一种离子源安装用辅助设备，包括顶板，所述顶板的底部两侧设置有支杆，所述支杆的内部空腔处连接有定位杆，所述定位杆的内部贯穿有锁紧销，所述顶板的底部中心处设置有连接板，所述连接板的底部固定有滑柱，所述滑柱的...
该专利属于天津琰罡机械设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津琰罡机械设备有限公司授权不得商用。

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