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本实用新型涉及光学照明技术领域，尤其涉及一种匀光照明设备及匀光棒，包括光刻机镜头；光刻机镜头包括中继镜筒、匀光棒镜筒、照明镜筒、物镜筒、反射镜框和照明镜筒座；匀光棒镜筒与中继镜筒的连接端设置有左封头，匀光棒镜筒与照明镜筒的连接端设置有右封头...
该专利属于无锡锡科光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡锡科光电科技有限公司授权不得商用。

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