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蒸镀坩埚及蒸镀装置制造方法及图纸
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文档序号:31050413
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本申请涉及蒸镀设备技术领域,提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置,前者包括坩埚本体和加热装置;坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔;加热装置设置于坩埚本体的外底壁;其中,坩埚本体的内底壁设有多个第一凹陷部,且相邻的两个第一凹陷部之间围成分隔部;坩埚本...
该专利属于上海升翕光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海升翕光电科技有限公司授权不得商用。
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