下载蒸镀坩埚及蒸镀装置的技术资料

文档序号:31050413

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本申请涉及蒸镀设备技术领域,提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置,前者包括坩埚本体和加热装置;坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔;加热装置设置于坩埚本体的外底壁;其中,坩埚本体的内底壁设有多个第一凹陷部,且相邻的两个第一凹陷部之间围成分隔部;坩埚本...
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