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在一工艺中形成铂电阻温度计，该工艺包括在淀积在衬底上的惰性介质上确定供电阻温度计用的通路；将通路中的衬底表面暴露出，使惰性介质形成反图；然后将电阻材料同时淀积在通路中露出的衬底表面和保留在衬底上的惰性材料表面，此后，隋性材料被腐蚀掉，这样淀...
该专利属于罗斯蒙德公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗斯蒙德公司授权不得商用。

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