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一种用于基板分解设备的最后一枚基板感知装置，其特征在于包括支撑体、用来感知信号的传感器光纤检测头、聚光镜头、托板及基板限位柱；所述托板平行位于待分解的电阻基板下方，且与基板分解设备升降机构相连接；所述基板限位柱分别垂直设于托板上表面的四角；...
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