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基于氧化锌的低压薄膜压敏电阻器制造技术
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下载基于氧化锌的低压薄膜压敏电阻器的技术资料
文档序号:3102997
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本发明公开了一种基于氧化锌的低压薄膜压敏电阻器,它由绝缘基底上面沉积的两个或多个由金属电极-氧化锌薄膜-金属电极构成的基本单元串连而成,其中氧化锌薄膜为高度c轴取向的柱状晶体薄膜;本发明的阈值电压可调,制作工艺简单,适应性较强。...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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