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本发明公开一种阴极组件碳化炉，包括下炉体、上盖体、碳化气源、碳化电源、阴极组件输送线和上下料机器人；所述上盖体滑动设置在所述下炉体上，其内设有若干喷淋支管，所述喷淋支管通过外侧的气管与所述碳化气源连接；所述下炉体内对应所述喷淋支管设置若干组...
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