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本发明公开了一种吸盘装置及具有其的基板处理设备，根据本发明实施例的吸盘装置，包括：第一平移组件、至少两个第二平移组件和至少四个吸盘组件，至少两个第二平移组件设置于第一平移组件上且在第一平移组件的驱动下可沿第一方向移动；至少四个吸盘组件两两设...
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