下载基于布拉格反射镜的波导型Ge/Si雪崩光电二极管及制备方法的技术资料

文档序号:31016912

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本发明公开了一种基于布拉格反射镜的波导型Ge/Si雪崩光电二极管及制备方法,该雪崩光电二极管包括阳极、Ge电极接触层、吸收层、电荷层、倍增层、阴极、衬底层、保护层、多周期布拉格反射镜和光波导,其中,倍增层、电荷层、吸收层、Ge电极接触层及阳...
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