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一种半导体激光器芯片腔面的镀膜方法技术
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文档序号:31015672
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本发明属于半导体激光器端面镀膜技术领域,具体涉及一种半导体激光器芯片腔面的镀膜方法,包括如下步骤:1)对待镀膜的芯片进行Bar条解理,夹条,并快速放进蒸发镀膜设备内,抽真空;2)对芯片的出光腔面进行离子源预清洗处理;3)在芯片的出光腔面上镀...
该专利属于湖北光安伦芯片有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北光安伦芯片有限公司授权不得商用。
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