下载一种光学检测系统和光学检测方法的技术资料

文档序号:31009674

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本发明提供了一种光学检测系统和光学检测方法,包括:照明组件,被配置为向待测对象发射检测光束,检测光束经待测对象表面散射、反射形成信号光;检测组件用于收集信号光,并形成第一信号光和第二信号光,形成第一信号光的信号光传播方向与形成第二信号光的信...
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