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本说明书实施例提供一种提拉保护方法和系统,应用于晶体制备过程,该方法包括检测触发事件,触发事件与断电或断水相关;基于触发事件,获取提拉保护信号;基于提拉保护信号,控制已生长晶体至少部分被拉离熔体液面,其中,在提拉过程中,生长腔体中的熔融原料...该专利属于眉山博雅新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过眉山博雅新材料股份有限公司授权不得商用。
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