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本公开描述了一种通量可缩放光子感测系统。所述系统包括多个半导体管芯，所述多个半导体管芯共用公共半导体衬底，并且包括一个或多个硅通孔。所述系统进一步包括多个光子检测传感器，所述多个光子检测传感器被配置成执行生物或化学样本的单分子或簇测序分析。...
该专利属于上海芯像生物科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯像生物科技有限公司授权不得商用。

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