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本发明公开了一种化学气相沉积过程中反应气氛的监控系统，包括化学气相沉积炉，化学气相沉积炉具有反应室，反应室顶部与真空管道连接、底部与Zn原料坩埚连接，真空管道通过采样泵与样品室连接，样品室还与稀释管道、真空泵以及气体分析仪连接，真空泵一端还...
该专利属于江苏鎏溪光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鎏溪光学科技有限公司授权不得商用。

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