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本发明公开了一种生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法，该方法采用化学气相沉积工艺，即向多个燃烧器中通入氢气和氧气，氢气和氧气在燃烧器中燃烧进而对沉积炉炉腔进行预热；预热完成后，将沉积炉内石英基板的温度升高至指定温度，同时启动温度探测器使...
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