下载一种颗粒硅直接用于区熔法制备单晶硅的装置及方法的技术资料

文档序号:30907599

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本发明公开了一种颗粒硅直接用于区熔法制备单晶硅的装置,包括炉室及加料装置,炉室内设保温层,炉室的顶部设有进料管,进料管的下端设有加料筒,加料筒内设有颗粒硅,漏斗式的加料筒的下端环绕感应线圈,感应线圈使加料筒下端熔化形成熔融区,炉室底部设置有...
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