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公开一种检查装置。检查装置包括平台部和探测部，探测部包括光学拍摄部、光干涉检测部及光诱导部。平台部承载检查对象物，探测部通过光学拍摄部及光干涉检测部，获得检查对象物的光学影像及光干涉数据。平台部或探测部可以移动，使得检查对象物的选择的区域位...
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