下载一种基于金属基底的嵌入式压电传感器的技术资料

文档序号:30892088

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本实用新型公开了一种基于金属基底的嵌入式压电传感器,在金属基底层上依次设置粘接层、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层,在第三绝缘层上设置下电极粘接层,下电极层设置在下电极粘接层上,在下电极层上设置压电层,在压电层上设置上电极粘接层,上电极粘...
该专利属于曹建峰所有,仅供学习研究参考,未经过曹建峰授权不得商用。

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