下载洁净棚的技术资料

文档序号:30885966

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本发明提供一种能够简单地切换洁净棚内的负压和正压的洁净棚。本发明的洁净棚(100)具备:风扇过滤单元(20),其在相对置的一对侧面的一方具有排出口(21),在另一方具有进入口(22);以及洁净棚主体(10),其设置成与风扇过滤单元(20)的...
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