下载基于硅光转接板技术的硅基光电子器件及制备方法的技术资料

文档序号:30884029

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本发明提供一种基于硅光转接板技术的硅基光电子器件及制备方法,器件包括:硅光器件,包括有源器件结构及无源器件结构,有源器件结构具有引出电极,并覆盖有介质层;转接孔及硅穿孔,贯穿至硅衬底,其内壁形成有绝缘层及导电层;接触孔,贯穿至引出电极;正面...
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