下载标定组件及体Bragg光栅的制备装置的技术资料

文档序号:30838570

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本实用新型涉及一种标定组件及体Bragg光栅的制备装置,标定装置包括第一激光器和第一反射镜,所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧,所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧;所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上,从所述曝光平...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。

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