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本申请提供了一种红外探测器及其制备方法和红外探测系统,其中,红外探测器包括像元阵列,该像元阵列中的每个像元包括桥臂和通过桥臂支撑于铝层上的桥面,该桥面包括吸收膜系,在远离铝层的方向上,吸收膜系依次包括空腔层、第一介质层、金属层、第二介质层、...该专利属于杭州海康微影传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州海康微影传感科技有限公司授权不得商用。
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