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一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置制造方法及图纸
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下载一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置的技术资料
文档序号:30830897
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本发明涉及单晶制备技术领域,具体涉及一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置。本发明提供了一种单晶长晶炉的加热装置,包括第一加热器1和第二加热器2,所述第二加热器2包括多个独立工作的加热单元21,所述第一加热器1为蛇形...
该专利属于宁波合盛新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波合盛新材料有限公司授权不得商用。
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