下载一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置的技术资料

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本发明涉及单晶制备技术领域,具体涉及一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置。本发明提供了一种单晶长晶炉的加热装置,包括第一加热器1和第二加热器2,所述第二加热器2包括多个独立工作的加热单元21,所述第一加热器1为蛇形...
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