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一种粉末冶金靶材紫金镀膜方法技术
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文档序号:30826688
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本发明公开了一种粉末冶金靶材紫金镀膜方法。其特征在于,包括如下步骤:1)将含有金和铝的粉末混合均匀,装入压制模具中压制成型,取出压坯后运用粉末冶金的方法进行不完全烧结,取出后冷却以获得合金靶材;2)运用物理气相沉积技术将步骤1中获得的合金靶...
该专利属于杭州兴宸科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州兴宸科技有限公司授权不得商用。
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