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本发明提供一种用于光热反射显微热成像的自动对焦方法及控制装置。该方法包括：获取照明光强在预设最大离焦范围内单调变化的光热反射显微热成像装置采集的被测件位于待对焦位置时的采集图像，及被测件位于对焦位置时的参考图像；根据采集图像计算得到第一总强...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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