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提供了一种薄膜沉积方法。该方法包括，在单个循环中，在含有或不含有载气的气相中向含有衬底的反应区提供前体，使得前体的单层被吸附到衬底的表面上，并且被吸附的单层随后经历转化为薄膜的离散的原子或分子层，而没有其他化学物种或共反应物的任何介入脉冲或...
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