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本实用新型公开了一种能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置，包括一可密闭箱体，在可密闭箱体的横向穿设有一转轴，在转轴上可转动连接有正极固定圆盘和负极固定圆盘，在正极固定圆盘与负极固定圆盘之间穿设有N层放电管，其中N为大于等于2的自然数，每层...
该专利属于上海聚萨光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海聚萨光电科技有限公司授权不得商用。

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