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本发明提供一种二维材料点缺陷密度的显微成像检测方法及装置，所述方法包括：获取待检测二维材料的差分反射光谱；根据差分反射光谱确定单色光的目标波长；标定待检测二维材料的缺陷密度，得到至少一个点缺陷密度；测量目标波长处每个点缺陷密度对应的差分反射...
该专利属于清华大学天津高端装备研究院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学天津高端装备研究院授权不得商用。

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