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一种位相型超分辨光学头,沿光路依次包括半导体激光器1,分光镜3,反射镜4,准直镜5,物镜6,光电探测器8正对分光镜3的透射光放置,其特征是在分光镜3之前放置一位相型超分辨位相板2,该位相板与系统共轴。其有益之处在于1.光束在到达PD探测器时...该专利属于武汉光谷新光电产业发展有限公司;查黎所有,仅供学习研究参考,未经过武汉光谷新光电产业发展有限公司;查黎授权不得商用。
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一种位相型超分辨光学头,沿光路依次包括半导体激光器1,分光镜3,反射镜4,准直镜5,物镜6,光电探测器8正对分光镜3的透射光放置,其特征是在分光镜3之前放置一位相型超分辨位相板2,该位相板与系统共轴。其有益之处在于1.光束在到达PD探测器时...