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本发明涉及一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元，模块化滑块装置包括静压滑块和节流器，静压滑块与节流器采用模块化设计，组合为一体，节流器与静压腔匹配设置，每个静压腔均匹配有对应的节流器；静压滑块上开设有进油口，进油口与节流器匹配...
该专利属于北京工研精机股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京工研精机股份有限公司授权不得商用。

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