温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种盘片承载托盘，用以容纳一盘片，其特征在于，该盘片承载托盘具有一盘片容纳凹处，该盘片容纳凹处具有一内侧边缘表面，该内侧边缘表面在相对于该盘片承载托盘的一轴向上包括一斜面，以稳定流经该盘片承载托盘的一气流场。...
该专利属于建碁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过建碁股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。