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一种环形光瞳共焦布里渊显微系统技术方案
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文档序号:30754777
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本发明提出一种环形光瞳共焦布里渊显微系统,解决现有共焦布里渊光谱测量系统计算复杂、计算精度差的问题。所述系统,包含:照明模块、分光平片、环形光阑、测量物镜、光谱探测模块;所述照明模块用于产生偏振方向可选的线偏振激光作为入射光;所述入射光经所...
该专利属于北京无线电计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京无线电计量测试研究所授权不得商用。
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