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文档序号:30734647
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本实用新型公开了一种检测设备,检测设备包括:基台;支撑台,支撑台设置于基台,支撑台远离基台的一侧设置有用于支撑待检测件的支撑面;压力传感机构,压力传感机构设置于基台,压力传感机构用于向位于支撑面上的待检测件施加压力,以使待检测件在支撑面沿平...
该专利属于江西欧迈斯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西欧迈斯微电子有限公司授权不得商用。
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