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一种薄膜传感器有一通过离子束蚀刻形成的顶磁极、底磁极和与磁极感应耦合的多匝线圈。该多匝线圈有一与其余线圈部分电气上断开的虚外环，因而，外部与线圈外侧部分的电连接连至内侧部分。在制造顶磁极过程中，离子束蚀刻对已做成的线圈的损伤发生在虚环上，而...
该专利属于麦格耐克斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦格耐克斯有限公司授权不得商用。

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