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一种耐高温充油SOI压力传感器制造技术
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下载一种耐高温充油SOI压力传感器的技术资料
文档序号:30731107
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本发明公开了一种耐高温充油SOI压力传感器,包括壳体,壳体的顶部设置有压环,压环的内部设置有波纹膜片,且压环、波纹膜片以及壳体的上部构成密闭的充油腔,充油腔通过真空度为10
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该专利属于成都凯天电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都凯天电子股份有限公司授权不得商用。
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