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公开了用于从反应系统中的反应室的内部清洁或蚀刻钼膜或氮化钼膜的设备和方法。利用远程等离子体单元来活化与惰性气体源混合的卤化物前体以形成自由基气体。自由基气体与钼膜或氮化钼膜反应以形成副产物，该副产物通过吹扫气体从反应室的内部除去。吹扫气体从...
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