下载涂覆装置、用于该涂覆装置的补偿装置和补偿方法的技术资料

文档序号:3072912

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一种将一定数量的流体涂覆到一基片(44)上的装置包括: 一涂覆模子(42),它具有:一涂覆槽口(58)、一使流体流入涂覆槽口(58)的供给集流室(54)、诸进入集流供给室(54)的进给口(56)、以及一流体从槽口(58)排出后沿其流动...
该专利属于美国3M公司所有,仅供学习研究参考,未经过美国3M公司授权不得商用。

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