下载用于调整光束聚焦的光学系统的技术资料

文档序号:3072397

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用于调整包括在载体平面(5)上作光束(1)聚焦的一光学系统(Ob)和控制聚焦点相对于载体(5)平面的位移的一装置(B)的光装置的聚焦的系统,其特征是:所述光束是共点的,且所述系统至少包括: 一第一探测器(CA),具有指定的聚焦动态检测...
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