下载多轴自由曲面光学元件的抛光装置的技术资料

文档序号:30720510

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一种多轴自由曲面光学元件的抛光装置,能够实现抛光头在工件的每一处均正交接触于工件表面,准确地控制抛光路径、驻留时间和接触角度,实现自由曲面光学元件确定性的抛光,保证加工精度。其包括:第一摆动机构(1)、第二摆动机构(2)、抛光头(3);第一...
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