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本实用新型公开了一种测量微量气体的流量计，包括装有去离子水或蒸馏水的密闭腔体,所述密闭腔体内设有一个空腔及环境压力传感器、温度传感器和气体测量单元位移传感器，所述空腔为气体体积和流量测定单元，气体测量单元设于空腔内；所述密闭腔体顶部设有进气...
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