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一种用于生产数据存储光盘模具的方法，包括如下步骤：提供一个化学汽相淀积的碳化硅衬底，它的硬度大约４．５ＭＰａ＊，粗糙度大约为１ｎｍ，平滑度大约为６μｍ，并在衬底表面淀积一层负光刻胶。衬底直径超过１２０ｍｍ，厚度大于１ｍｍ。然后用激光使光刻胶...该专利属于托马斯.G.毕法诺;彼得.W.西里洛;普里斯姆公司所有，仅供学习研究参考，未经过托马斯.G.毕法诺;彼得.W.西里洛;普里斯姆公司授权不得商用。