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本实用新型公开了一种超构表面相位测试装置,包括:光源模块、干涉模块以及接收模块,光源模块用于输出测试光束至干涉模块;干涉模块包括第一分束镜、第二分束镜、第一反射镜以及第二反射镜,干涉模块用于对反射式超构表面和透射式超构表面进行相位测试,得到...该专利属于国科光芯(海宁)科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国科光芯(海宁)科技股份有限公司授权不得商用。
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