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抛光装置制造方法及图纸
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文档序号:30711666
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本实用新型公开了抛光装置,用于对工件进行抛光,包括:第一安装件、Z轴驱动部、旋转驱动部以及抛光部。其中,Z轴驱动部安装到所述第一安装件。旋转驱动部,搭载在所述Z轴驱动部,被所述Z轴驱动部驱动沿Z轴方向移动。抛光部具有第二安装件和安装到所述第...
该专利属于深圳海诚装备技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳海诚装备技术有限公司授权不得商用。
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