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本发明提供一种基底标记位置检测方法及装置，采用对同一位置标记多次测量的方法来提高精度，不需要增加基底的位置标记的数量，因此不会导致曝光装置的处理能力降低，另外，采用本发明提供的基底标记位置检测方法及装置，基底的位置标记的设置不再受现有标记测...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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